Aynı zamanda 1963'te kurulan Türkiye Bilimsel ve Teknolojik Araştırma Kurumu (TÜBİTAK)'nun kurucularından biri olan Cahit Arf, 1964 yılında TÜBİTAK'ın ilk bilim kurulu başkanı olmuştur.2  1980 yılında ODTÜ'den istifa etmesinin ardından uzun bir süre boyunca TÜBİTAK'ın Gebze'deki araştırma merkezinde çalışmıştır.